机译:等离子体增强化学气相沉积薄膜退火过程中Ge纳米颗粒在SiO_2 / Si界面上的生长
机译:高温退火对感应耦合等离子体增强化学气相沉积a-SiC:H薄膜的化学和机械性能的影响
机译:表面波微波等离子体增强化学气相沉积法沉积成膜后退火氮掺杂非晶碳薄膜的特性
机译:电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积沉积SiO_x薄膜的光学和成分分析
机译:将等离子体增强化学气相沉积的氮化硅薄膜建模为有限的几何形状
机译:N2:(N2 + CH4)比在低温等离子体增强化学气相沉积法生长疏水纳米结构氢化氮化碳薄膜中的作用研究
机译:等离子增强化学气相沉积薄膜退火过程中SiO2 / Si界面上Ge纳米粒子的生长
机译:等离子体增强化学气相沉积siO2薄膜的原位红外反射吸收光谱表征